致力于先进存储新突破,微电子所与爱发科集团

集微网消息3月20日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所(以下简称“上海微系统所”)与爱发科集团共同创立“先进存储器技术联合实验室”。这次成立联合实验室,双方意在寻求半导体先进存储领域的技术创新、推动存储产业的发展。

6月14日,中国科学院微电子研究所与日本爱发科集团联合实验室签字仪式在中科院微电子所举行。中科院微电子所所长叶甜春与爱发科集团代表取缔役执行役员社长小日向久治签署协议。

中科院微电子所与爱发科集团共建联合实验室

6月14日下午,中国科学院微电子研究所与日本爱发科集团联合实验室签字仪式在中科院微电子所会议室举行。中科院微电子所所长叶甜春与爱发科集团代表取缔役执行役员社长小日向久治签署协议。

【据《SEMI》 2008年11月28日报道】

图片 1

株式会社ULVAC是以在各领域获得广泛应用的真空技术为基础,以开创精细加工工艺为追求目标的研究开发综合企业。其产品从平板显示、电子半导体、太阳电池作用的真空设备到标准零部件、材料及真空镀膜等业务。目前在中国已经设立了15家公司,未来在中国的投资还会不断扩大,在以电子技术和通讯技术为首的包括能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域中,株式会社ULVAC以设备生产为中心,提供先进的真空技术产品。

图片 2

致力于先进存储新突破,微电子所与爱发科集团联合实验室签字仪式举行。株式会社ULVAC是以在各领域获得广泛应用的真空技术为基础,以开创精细加工工艺为追求目标的研究开发综合企业。其产品从FPD,电子半导体,太阳电池作用的真空设备到标准零部件,材料及真空镀膜等业务。目前在中国已经设立了15家公司,未来在中国的投资还会不断扩大,在以电子技术和通讯技术为首的包括能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域中,株式会社ULVAC以设备生产为中心,提供先进的真空技术产品,优质完善的服务,不断满足顾客的需求。

中科院上海微系统与信息技术研究所日前宣布,由王曦研究员领导的SOI研究小组,在上海新傲科技有限公司研发平台上,通过技术创新,制备出我国第一片8英寸键合SOI晶片,实现了SOI晶片制备技术的重要突破。

据悉,中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所,前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所,是我国最早的工学研究机构之一。值得一提的是,上海微系统所曾研制成功国内第一颗基于SOI材料的0.13um工艺大规模高可靠专用集成电路ASIC芯片,应用于北斗导航卫星等国家关键工程。其官网显示,自建国以来,上海微系统所获得国家级科技奖项46项、部省级347项,其中“甲种分离膜”技术获国家科技进步特等奖,“高速、超高速双极型数字集成电路”、“高端硅基SOI材料研发和产业化”获国家科技进步一等奖。

这次成立联合实验室,双方运用中科院微电子所拥有的微电子器件有关的技术和爱发科集团拥有的与真空镀膜设备及工艺技术有关的技术,在MEMS、存储器、功率器件及传感器领域,针对开发主题共同实施开发,互相协助力求其实用化。双方一致认为,彼此具有非常强的优势互补关系,是充分发挥双方各自特长、实现产学研无缝对接、可同时满足核心技术研究和产业化需要的最佳途径。双方将成立联合实验室,在资源共享、技术开发、人才交流与培训等方面进行深入合作,以支持和推动在相关核心技术方面的研究和积累。联合实验室将成为双方合作的窗口和新技术科研成果的实验基地。

参观“联合实验室”工艺平台。

这次成立联合实验室,双方运用中科院微电子所拥有的微电子器件有关的技术和爱发科集团拥有的与真空镀膜设备及工艺技术有关的技术,在MEMS、存储器、功率器件及传感器领域,针对开发主题共同实施开发,互相协助力求其实用化。双方一致认为,双方具有非常强的优势互补关系,是充分发挥双方各自特长、实现产学研无缝对接、可同时满足核心技术研究和产业化需要的最佳途径。双方将成立联合实验室,在资源共享、技术开发、人才交流与培训等方面进行深入合作,以支持和推动在相关核心技术方面的研究和积累。联合实验室将成为双方合作的窗口和新技术科研成果的实验基地。

该研究小组过去建立了我国第一条高端硅基集成电路材料SOI晶圆片生产线,实现了4-6英寸SOI材料产业化,解决了我国SOI材料的“有无”问题,获得国家科技进步一等奖。

爱发科集团是以在各领域广泛应用的真空技术为基础,以开创精细加工工艺为目标的研究开发综合企业。其产品涉及FPD、电子半导体、太阳能电池用的真空设备以及标准零部件、材料和真空镀膜等业务。在半导体领域,特别是半导体存储器制造设备领域深耕多年,其中新型先进半导体存储器制造设备进入国际领先存储器制造厂商的供应链,被选择为主流制造设备。

联合实验室将利用ULVAC制造SME-200型溅射设备开展微电子工艺开发,ULVAC SME-200设备是一款多功能溅射设备,最多可搭载八个腔室,可针对研究开发和少量生产用途,在8英寸硅基板上进行沉积金属、氧化物、氮化物薄膜等先进材料,设备可实现全自动搬送、数据自动存储、保证工艺结果稳定性等功能。通过利用该设备,双方将在MEMS、存储器、功率器件及传感器等领域展开工艺研发合作。

图片 3

联合实验室将利用ULVAC制造SME-200型溅射设备开展微电子工艺开发,ULVAC SME-200设备是一款多功能溅射设备,最多可以搭载八个腔室,可针对研究开发和少量生产用途,在8inch Si基板上进行沉积金属,氧化物,氮化物薄膜等先进材料,设备可实现全自动搬送、数据自动存储、保证工艺结果稳定性等功能。通过利用该设备,双方将在MEMS、存储器、功率器件及传感器等领域展开工艺研发合作。

该研究小组在面对国内外集成电路技术向大直径晶圆片升级换代的大趋势,又设立了攻关8英寸大直径SOI晶圆片的课题。在开发过程中,该小组突破了清洗、键合、加固、研磨和抛光等一系列关键技术。通过改造现有设备,实现了8英寸硅片的旋转式单片清洗工艺,并自主设计开发了大尺寸晶片键合平台,在此基础上实现了8英寸晶片键合,且达到了对键合过程和键合质量的实时监控。通过对现有设备的升级改造,还实现了键合晶片的加固。经过大量的研磨工艺实验,反复比较研磨过程粗磨、精磨工艺中砂轮转速等工艺参数对晶片的影响,确定出较优研磨工艺。随后,在现有抛光工艺基础上优化抛光浆料配比,实现了8英寸SOI晶片的精细抛光。

除此次与上海微系统所合作创立的先进存储器技术联合实验室外,爱发科集团已经和中科院微电子所、西安交通大学等创办联合实验室。

联合实验室的成立,体现了爱发科集团大力推进本土化产业的战略方针。与中科院微电子所共同合作,联合实验将针对中国正在大力发展的电子半导体产业,提高研发实力,加快推进前沿技术产业化,以产学研结合的模式,实施人才与科技创新双轮驱动战略,为国内的半导体企业提供技术支持、工艺验证的平台。

叶甜春与小日向久治签约。

联合实验室的成立,体现了爱发科集团大力推进本土化产业的战略方针。与中科院微电子所共同合作,针对中国正在大力发展的电子半导体产业,提高研发实力,加快推进前沿技术产业化,以产学研结合的模式,实施人才与科技创新双轮驱动战略,为国内的半导体企业提供技术支持、工艺验证的平台

8英寸SOI晶圆片的成功开发,标志着该研究小组已经掌握了大尺寸键合SOI晶片制备的关键技术,为大尺寸键合SOI晶片的产业化打下了坚实的基础。

(原载于《中国科学报》 2017-06-19 第5版 创新周刊)

6月14日,中国科学院微电子研究所与日本爱发科集团联合实验室签字仪式在中科院微电子所举行。中科院微电子所所长叶甜春与爱发科集团代表取缔役执行役员社长小日向久治签署协议。

图片 4

在极大规模集成电路国家重大科技专项中,宏力半导体公司和华润微电子等8英寸集成电路制造代工企业安排了8英寸SOI先进电路的研发和产业化项目,急需要本土化的8英寸SOI衬底材料配套。上海微系统所和上海新傲公司联合开发的8英寸键合SOI晶圆片正是适应了这些需求。

株式会社ULVAC是以在各领域获得广泛应用的真空技术为基础,以开创精细加工工艺为追求目标的研究开发综合企业。其产品从平板显示、电子半导体、太阳电池作用的真空设备到标准零部件、材料及真空镀膜等业务。目前在中国已经设立了15家公司,未来在中国的投资还会不断扩大,在以电子技术和通讯技术为首的包括能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域中,株式会社ULVAC以设备生产为中心,提供先进的真空技术产品。

会议现场

这次成立联合实验室,双方运用中科院微电子所拥有的微电子器件有关的技术和爱发科集团拥有的与真空镀膜设备及工艺技术有关的技术,在MEMS、存储器、功率器件及传感器领域,针对开发主题共同实施开发,互相协助力求其实用化。双方一致认为,彼此具有非常强的优势互补关系,是充分发挥双方各自特长、实现产学研无缝对接、可同时满足核心技术研究和产业化需要的最佳途径。双方将成立联合实验室,在资源共享、技术开发、人才交流与培训等方面进行深入合作,以支持和推动在相关核心技术方面的研究和积累。联合实验室将成为双方合作的窗口和新技术科研成果的实验基地。

图片 5

联合实验室将利用ULVAC制造SME-200型溅射设备开展微电子工艺开发,ULVAC SME-200设备是一款多功能溅射设备,最多可搭载八个腔室,可针对研究开发和少量生产用途,在8英寸硅基板上进行沉积金属、氧化物、氮化物薄膜等先进材料,设备可实现全自动搬送、数据自动存储、保证工艺结果稳定性等功能。通过利用该设备,双方将在MEMS、存储器、功率器件及传感器等领域展开工艺研发合作。

叶甜春与小日向久治签约

联合实验室的成立,体现了爱发科集团大力推进本土化产业的战略方针。与中科院微电子所共同合作,联合实验将针对中国正在大力发展的电子半导体产业,提高研发实力,加快推进前沿技术产业化,以产学研结合的模式,实施人才与科技创新双轮驱动战略,为国内的半导体企业提供技术支持、工艺验证的平台。

图片 6

《中国科学报》 (2017-06-19 第5版 创新周刊)

参观“联合实验室”工艺平台

图片 7

参观“联合实验室”展示墙

本文由9778818威尼斯官网发布于9778818威尼斯官网,转载请注明出处:致力于先进存储新突破,微电子所与爱发科集团

您可能还会对下面的文章感兴趣: